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文献类型

1. 图书 (1)
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主题

1. 半导体工艺 (1)
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著者

1. costas j.spanos (1)
2. gary s.may (1)
3. 李虹 (1)
4. 李虹，肖春虹，马俊婷译 (1)
5. 肖春虹 (1)
6. 马俊婷 (1)
7. （美）gary s.may costas j.spanos著 (1)
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出版日期

1. 2009 (1)
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语言种类

1. 汉语 (1)
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