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| 公开/私有: | 公开 私有 |
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- 高等学校 (3)
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- 本书主要讲述集成电路与微纳制造工艺技术, 既有基本原理和工艺技术的阐述, 也有国内外近期发展状况的介绍。本书把集成电路的工艺技术分类为图形化 (光刻)、加法 (薄膜的技术) 减法 (刻蚀技术) 乘除法 (离子注入、silicide) 及其集成电路工程学 (良率、可靠性) 和集成电路后勤工作 (超净间、ic衍生产业链) 几大类, 便于学生掌握、记忆和类推。 (1)
- 模糊集 (1)
- 瑞士 (1)
- 科学技术-英语-教材 (1)
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