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主题

1. 嚗光 (1)
2. 电子束 (1)
3. 电子束光刻 (1)
4. 研究 (1)
5. 设备 (1)
6. 超大规模集成电路 (1)
7. 集成电路工艺 (1)
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著者

1. 顾文琪 (2)
2. 刘俊标 (1)
3. 刘俊标，薛虹，顾文琪著 (1)
4. 薛虹 (1)
5. 顾文琪主编 (1)
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出版日期

1. 2004 (2)
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文献类型

1. 图书 (2)
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语言种类

1. 汉语 (2)
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