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段力编著
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段力编著
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T 工业技术
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主题
本书主要讲述集成电路与微纳制造工艺技术, 既有基本原理和工艺技术的阐述, 也有国内外近期发展状况的介绍。本书把集成电路的工艺技术分类为图形化 (光刻)、加法 (薄膜的技术) 减法 (刻蚀技术) 乘除法 (离子注入、silicide) 及其集成电路工程学 (良率、可靠性) 和集成电路后勤工作 (超净间、ic衍生产业链) 几大类, 便于学生掌握、记忆和类推。
(1)
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著者
张亚非,段力编著
(1)
段力编著
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出版日期
2018
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2019
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文献类型
图书
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1.
工程导学
订购中
(含光盘)
著者:
段力编著
出版社:
上海交通大学出版社
出版日期: 2019-12
文献类型:
图书 , 索书号:
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内容简介
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2.
集成电路制造技术
订购中
(含光盘)
著者:
张亚非
段力编著
出版社:
上海交通大学出版社
出版日期: 2018-10
文献类型:
图书 , 索书号:
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